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5. 大学院工学府の学生が「第17回ゲートスタック研究会」にて「服部賞」受賞

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受賞情報

受賞者と賞状

賞状

大学院工学府物理情報工学専攻物理工学コース博士課程前期１年の兼村瑠威さん(指導教員:田中正俊教授、大野真也特別研究教員)が、応用物理学会特別研究会の「第17回ゲートスタック研究会」において「服部賞」を受賞しました。

この賞は、1月２０日、２１日に発表された６０件の講演の中から、半導体産業に貢献すると認められる特に優れた発表に与えられました。
論文タイトルは「高指数Si表面の水素終端構造と絶縁膜形成」で、SiナノワイヤFETで重要となるSi高指数面の水素終端構造が純水リンスによって変化することを見出し、その上に形成した絶縁膜の特性を先端計測技術によって明らかにした研究内容が評価されました。